CN119905401A 一种基于晶圆处理的热板控制方法及其装置 （合肥开悦半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119905401A

(43)申请公布日2025.04.29

(21)申请号202411875378.6

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人合肥开悦半导体科技有限公司

地址230000安徽省合肥市经济技术开发

区硕放路1号新桥集成电路科技园C栋

1层

(72)发明人请求不公布姓名苗伟

请求不公布姓名

(74)专利代理机构合肥市长远专利代理事务所

(普通合伙)34119

专利代理师王新希

(51)Int.Cl.

H01L21/324(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

H01L21/6