阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路方法详解.pdfVIP

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

供了一种新的有效的途径法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态实质审查的生效公开授权专利权的终止未缴年费专利权终止实质审查的生效公开授权专利权的终止未缴年费专利权终止权利要求说明书阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路方法的权利要求说明书内容

（10）申请公布号CN1141733C

（43）申请公布日2004.03.10

（21）申请号C9

（22）申请日2001.07.26

（71）申请人清华大学

地址100084北京市海淀区清华园

（72）发明人徐端颐;齐国生;范晓冬;李庆祥;钱坤;蒋培军

（74）专利代理机构北京清亦华专利事务所

代理人廖元秋

（51）Int.CI是请下载后查看说明书阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路方法的说明书内容是请下载后查看

H01L21/027;

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