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芯片制造用超高纯金属项目设备选型方案.docx

芯片制造用超高纯金属项目设备选型方案.docx

    芯片制造用超高纯金属项目设备选型方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、产品方案与工艺目标 4

    三、设备选型原则 6

    四、原料接收与预处理设备 9

    五、熔炼与精炼设备 12

    六、提纯与净化设备 14

    七、真空制备设备 19

    八、惰性气氛保护设备 22

    九、连续铸锭设备 24

    十、轧制与成形设备 26

    十一、热处理设备 28

    十二、表面处理设备 30

    十三、切割与分条设备 32

    十四、检测与分析设备 35

    十五、洁净生产设备 38

    十六、粉尘与废气处理设备 40

    十七、废水处理设备 44

    十八

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