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芯片制造用超高纯金属项目施工方案.docx

芯片制造用超高纯金属项目施工方案.docx

    芯片制造用超高纯金属项目施工方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、工程建设目标 4

    三、厂区总体布局 6

    四、施工组织架构 9

    五、施工准备工作 12

    六、场地平整与围护 20

    七、基础工程施工 21

    八、主体结构施工 24

    九、洁净厂房施工 28

    十、超高纯管道施工 30

    十一、特气系统施工 33

    十二、给排水系统施工 36

    十三、暖通空调施工 38

    十四、电气系统施工 40

    十五、自控系统施工 44

    十六、消防系统施工 48

    十七、纯水系统施工 51

    十八、废气处理施工 56

    十九

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