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模拟集成电路版图设计与工程实践（微课版）课件 第一章 有源器件制造3.pdf

模拟集成电路版图设计与工程实践（微课版）课件 第一章 有源器件制造3.pdf

    集成电路模拟版图设计

    二极管

    •二极管在集成电路中有很多应用，尤其是模拟集成电路中，在CMOS工艺中，二极管对提

    供参考电压、温度补偿和温度测量等都非常有用。在集成电路中，二极管主要制造步骤

    为：N-外延层生长、隔离环掺杂、P+区掺杂、外延层n+欧姆接触、金属化以及钝化层。

    接下来将分别介绍以下几个步骤。

    •外延层生长：

    •N-外延层生长是一个高温的化学气相沉积（CVD）制程。图1.4.26在P型硅上外延生长

    一层N型材料外延，称为n-epi。

    图1.4.26外

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