原创力文档集成电路模拟版图设计
任务六认识互连
•集成电路版图设计时，不仅要使各个器件在电学上相互隔离开，还需要根据电路图中器件的连
线关系将各个独立的器件通过接触孔、多晶硅栅和金属互连线连接起来，实现集成电路的功能。
•金属
•较短的走线一般可以采用多晶硅进行互连，对一些较长走线，一般采用金属如铜进行互连。
任务六认识互连
•在硅基集成电路中对金属材料有以下基本要求：
1.与n+，p+硅或者多晶硅能够形成低阻的欧姆接触，即金属-硅接触电阻要小，能够提供低电阻的互连引线；
2.长时间在较高电流密度负荷下，金属材料的输运问题不会引起金属走
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