CN119687820A 管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统 (浙江芯微泰克半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-14 发布于重庆
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CN119687820A 管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统 (浙江芯微泰克半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119687820A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411904586.4

(22)申请日2024.12.23

(71)申请人浙江芯微泰克半导体有限公司

地址323000浙江省丽水市莲都区南明山

街道上徐路2号

(72)发明人王冲陈轮兴义岚

(74)专利代理机构深圳紫藤知识产权代理有限

公司44570

专利代理师何艳

(51)Int.Cl.

G01B11/16(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图5页

(54)发明名称

管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变

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