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半导体材料生产项目洁净车间建设方案.docx

半导体材料生产项目洁净车间建设方案.docx

    半导体材料生产项目洁净车间建设方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、建设目标与范围 5

    三、产品特性与洁净要求 8

    四、工艺流程与车间分区 12

    五、洁净等级划分 14

    六、总平面布置方案 17

    七、人流物流组织 23

    八、围护系统设计 25

    九、空气调节系统 28

    十、送回风组织设计 33

    十一、温湿度控制方案 38

    十二、压差与气流控制 40

    十三、微粒控制方案 43

    十四、微生物控制方案 47

    十五、纯水与工艺供给 50

    十六、废气废液处理 52

    十七、电气与照明设计 55

    十八、

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