CN119731598A 光学装置、曝光装置以及曝光方法 （株式会社斯库林集团）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119731598A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202380060708.3

(22)申请日2023.05.22

(30)优先权数据

2022-1482132022.09.16JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.19

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0189472023.05.22

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/057622JA2024.03.21

(71)申请人株式会社斯库林集团地址日本京都府

(72)发明人