原创力文档半导体厂工艺气体管路的拆除程序
看到大量有关气体管路的帖子,发现大家多注重于配管和安装方面,但随着一些半导体厂由于设备使用年代
已久,需要对设备进行更新,或者是对老厂房进行改造,那就牵涉到对旧管路进行拆除作业.
旧管路的拆除工程其实要比新管路的配置潜在的危险性要大得多,最怕的是拆错管路,稍不小心,就有可能造
成化学品或气体的泄漏,对人员的安全带来危害.
我去年负责了某厂旧机台GAS管路的拆除工程，整理了一下GAS管路的拆管程序，贴出来和大家一起讨
论。半导体,芯片
半导体厂工艺气体管路的拆除程序
看到大量有关气体管路的帖子,发现大家多注重于配管和安装方面,但随着一些半导体厂由于设备使用年代
已久,需要对设备进行更新,或者是对老厂房进行改造,那就牵涉到对旧管路进行拆除作业.
旧管路的拆除工程其实要比新管路的配置潜在的危险性要大得多,最怕的是拆错管路,稍不小心,就有可能造
成化学品或气体的泄漏,对人员的安全带来危害.
我去年负责了某厂旧机台GAS管路的拆除工程，整理了一下GAS管路的拆管程序，贴出来和大家一起讨
论。半导体,芯片
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