原创力文档2026年薄膜材料与技术材料加工工程试卷含
解析
考试时间：______分钟总分：______分姓名：______
先说明内应力来源主要是薄膜生长过程中原子排列与基底晶格失配热失配晶格失配引起的应变累积或薄膜相变杂质引入等然后列举减小方法选择热膨胀系数匹配的薄膜与基底材料进行适当的热处理退火释放应力引入缓冲层采用低温沉积或外延生长技术离子注入掺杂等解析思
一、选择题（每题2分，共20分。下列每小题备选答案中，只有一项是符合题
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