CN119731366A 钇质保护膜和其制造方法以及部件 （Ａｇｃ株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119731366A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202380060506.9

(22)申请日2023.06.21

(30)优先权数据

2022-1310212022.08.19JP

2022-1754282022.11.01JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.18

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0229862023.06.21

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/038674JA2024.02.22

(71)申请人AGC株式会社

地址日本

申请人翼真空理研株式会社

(72)发明人小川修平小川朝敬石川道夫

谷村径夫冈田英一

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师李书慧

(51)Int.Cl.

C23C14/08(2006.01)

C01F17/218(2006.01)

C23C14/22(2006.01)

C23C14/48(2006.01)

C25D11/18(2006.01)

H01L21/3065(2006.01)

H01L21/31(2006.01)

权利要求书2页说明书16页附图3页

(54