氮化钛去除方法研究与实际应用.pdfVIP

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

化钛去除方法的权利要求说明书内容是请下载后查看说明书氮化钛去除方法的说明书内容是请下载后查看（10）申请公布号

CN100378911C

（43）申请公布日2008.04.02

（21）申请号CN200510087526.9

（22）申请日2005.07.22

（71）申请人气体产品与化学公司

地址美国宾夕法尼亚州

（72）发明人吴定军;齐宾;E·J·小卡瓦基

（74）专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司

代理人郭广迅

（51）Int.CI一种从衬底表面去除氮化钛的方法包括提供包括至少一种反应物的过程气体反应物选自含氟物质和含氯物质使过程气体富集至少一种反应物的至少一种活性物质以形成富集的过程气体其中富集在第一个位置处进行提供衬底温度大于的衬底其中衬底表面至少部分涂有氮化钛和