CN119688796A 基于pt对称的三自由度弱耦合高灵敏mems传感器及其制备方法 (上海交通大学).pdfVIP

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  • 2026-06-17 发布于重庆
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CN119688796A 基于pt对称的三自由度弱耦合高灵敏mems传感器及其制备方法 (上海交通大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119688796A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411879785.4

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人上海交通大学

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