INOVANCE汇川IPU310系列真空泵组件用户手册.pdf

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法律及声明1

前言2

1使用注意事项5

1.1关于供给阀、破坏阀5

1.2配线方法6

1.3更换要点6

1.4关于供给压力9

1.5关于破坏流量调节针阀9

2安装10

2.1安装方式说明10

2.2配管说明11

2.3接线说明13

3调试与运行16

4压力开关功能说明17

5故障与对策23

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