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锰钴镍氧化物薄膜：制备、表征及器件应用的多维度研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，过渡金属氧化物薄膜由于其丰富的物理性质和广泛的应用前景，一直是研究的热点。锰钴镍氧化物薄膜作为其中的重要一员，凭借其独特的晶体结构和电子特性，展现出诸多优异的性能，在众多领域中发挥着不可或缺的作用。

锰钴镍氧化物薄膜具有显著的负温度系数（NTC）特性，其电阻值随温度的升高而降低，且变化较为敏感。这一特性使得它在温度传感器领域表现出色，能够精确地感知环境温度的细微变化，并将其转化为电信号输出，为温度监测和控制提供了可靠的手段。在工业生产中，对于一些对温度要求严格的工艺过程，如电子芯片的制造、化