JJF(皖) 146-2023《白光干涉轮廓仪校准规范》完整信息.docxVIP

JJF(皖)146-2023《白光干涉轮廓仪校准规范》完整信息

一、基础备案信息

标准编号：JJF(皖)146-2023

标准名称：白光干涉轮廓仪校准规范

英文名称：CalibrationSpecificationforWhiteLightInterferenceProfiler

发布/实施：2023-01-09发布，2023-03-01正式实施

发布机构：安徽省市场监督管理局

归口单位：安徽省几何量计量技术委员会

文件规格：PDF共20页，现行有效安徽省地方计量技术规范

二、编制单位

主要起草

安徽省计量科学研究院

安徽省长江计量所

参编单位

深圳市中图仪器、中国计量大学、合肥一煊检测、中乾格致精密测量（杭州）有限公司

三、适用范围

本规范适用于基于白光干涉（相干扫描干涉）原理的三维光学轮廓仪（白光干涉仪）的计量性能校准；覆盖半导体、光学元件、精密模具、薄膜、微纳结构表面形貌测量设备。

国内无国家统一JJG/JJF规程前，安徽区域计量机构、企业实验室优先采用本规范开展校准。

四、核心校准项目（规范主体内容）

外观及整机功能检查

光路、载物台、镜头、软件成像、扫描运动系统完整性核查

Z轴（高度/垂直方向）计量性能

Z示值误差、Z重复性

垂直分辨力、台阶高度测量示值误差（阶梯标准样板）

XY平面（横向）计量性能

X、Y轴示值误差、X