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洁净室洁净度等级检测作业指导书.docx

洁净室洁净度等级检测作业指导书.docx

    洁净室洁净度等级检测作业指导书

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 8

    三、术语定义 9

    四、检测目标 12

    五、检测原则 13

    六、职责分工 15

    七、人员要求 17

    八、设备要求 20

    九、检测准备 22

    十、测点布置 25

    十一、采样要求 27

    十二、风量检测 30

    十三、粒子检测 34

    十四、微生物检测 36

    十五、压差检测 38

    十六、数据记录 39

    十七、结果判定 42

    十八、偏差处理 45

    十九、复测要求 47

    二十、质量控制 48

    二十一、安全要求 51

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