原创力文档IntegratedGasSystems/集成式供气系统
IGS
IGS系统基座——
VIB系列
产品特点
•W型密封和C型密封可选
•非固定安装，保证密封效果
•浸润表面EP处理
•表面光洁度:Max.5μin.Ra
基础板
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