SEMI F57-2023 中文版 超纯水系统用高纯度聚合物材料与组件规范.docxVIP

SEMIF57-2023中文版超纯水系统用高纯度聚合物材料与组件规范

标准基础信息

标准编号：SEMIF57-2023

标准中文全称：超纯水系统用高纯度聚合物材料与组件规范

标准归口机构：SEMI国际半导体设备与材料协会、SEMIWG-PW纯水材料工作组、半导体流体传输材料专项委员会

发布日期：2023年03月15日

实施日期：2023年09月01日

替代版本：替代SEMIF57-2019，针对3nm-28nm先进制程UPW系统痛点全面修订，重点收紧聚合物材料金属离子析出、TOC析出、微粒脱落三大核心指标；新增洁净焊接工艺管控、内壁微观粗糙度强制限值、高温消毒工况材料老化评估、盲端接头微生物滋生防控四大增补模块

标准适用定位：半导体超纯水系统流体接触材料专属强制规范，界定UPW全管路、阀门、接头、滤芯壳体、储罐内衬、呼吸器、取样口等所有与超纯水直接接触聚合物材料准入门槛；承接SEMIF102生物污染控制、SEMIF109痕量金属管控两项标准，补齐材料原生析出污染管控短板，是晶圆厂纯水系统新建、技改、材料选型、进场验收、第三方审厂、供应链来料稽核的核心强制依据

关联联动标准：生物污染管控对标SEMIF102-2022；痕量金属管控对标SEMIF109-2023；管路设计与盲端管控对标ISO13200-1:2022；材料析出物检测对标SEMIF63-2021；