CN119743982A 薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板 （云谷（固安）科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119743982A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202311269711.4

(22)申请日2023.09.27

(71)申请人云谷（固安）科技有限公司

地址065500河北省廊坊市固安新兴示范

产业园区

申请人合肥维信诺科技有限公司

(72)发明人晏国文孙晓琦徐琳王德坚丁力栋陈发祥

(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司11258

专利代理师胡娟娟

(51)Int.Cl.

H10D30/67(2025.01)

H10D30/01(2025.01)

H10D86/60(2025.01)

H10D86/01(2025.01)

权利要求书2页说明书8页附图6页

(54)发明名称

薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示

面板

(57)摘要

CN119743982A本申请公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板，本申请提供的薄膜晶体管包括有源层，有源层包括多层子有源层，多层子有源层沿第一方向层叠设置，子有源层包括结晶态氧化物材料，且相邻子有源层中的铟元素的原子数量占比不同。本申请提供的薄膜晶体管可实现迁移率与光照稳定性的兼顾，从而提升薄

CN119743982A

CN11974