CN119744012A 一种双栅调控石墨烯微纳结构太赫兹探测器及其制备方法 （中山大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119744012A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202510229225.2

(22)申请日2025.02.28

(71)申请人中山大学

地址510275广东省广州市海珠区新港西

路135号

(72)发明人陈焕君郭汪畅刘绍静邓少芝许宁生

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师邓健明

(51)Int.Cl.

H10F30/298(2025.01)

H10F77/20(2025.01)

H10F71/00(2025.01)

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

一种双栅调控石墨烯微纳结构太赫兹探测

器及其制备方法

(57)摘要

CN119744012A本发明公开了一种双栅调控石墨烯微纳结构太赫兹探测器及其制备方法，包括有效探测部层和衬底层；有效探测部层包括双栅极金属电极、绝缘介质层、石墨烯层和源漏金属电极；双栅极金属电极，包覆于绝缘介质层内，且连接面与衬底层紧密接触；绝缘介质层设于衬底层的上方；石墨烯层位于绝缘介质层的上方，其包括由条带连接的圆形结构子阵列或多边形结构子阵列构成的石墨烯图案化结构阵列；双栅极金属电极位于石墨烯图案化结构阵列映射于绝缘介质层上的空间内；源漏金属电