ASTM D4453-22 中文版 超纯水取样与样品保存标准操作规程.docxVIP

ASTMD4453-22中文版超纯水取样与样品保存标准操作规程

标准基础信息

标准编号：ASTMD4453-22

标准英文原名：StandardPracticeforSamplingandPreservationofUltrapureWater

发布机构：美国材料与试验协会（ASTMInternational）

发布日期：2022年08月

替代版本：ASTMD4453-17

标准核心定位：半导体超纯水水质检测**前置通用基础标准**，是ASTMD6508-20痕量阴离子、ASTMD5464-22总有机碳、ASTMD7980-21颗粒计数三项检测方法的强制性前置配套规程。统一规范超纯水全点位取样、容器前处理、管路冲洗、分参数样品保存、样品转运、污染防控全流程，从源头杜绝取样污染导致的检测数据失真，是半导体审厂中水质采样环节一票否决项，所有离线检测水样必须完全遵循本规程执行。

联动配套标准：SEMIF63-24（半导体超纯水水质指标）、ASTMD7980-21（超纯水颗粒检测）、ASTMD6508-20（超纯水痕量阴离子检测）、ASTMD5464-22（超纯水TOC在线离线检测）、ASTMD1193-23（试剂纯水等级）、ASTMD3370（常规密闭水体取样通用规范）

编制说明：本文为ASTMD4453-22官方完整版精准汉化文档，完整