MEMS惯性导航传感器选型指南.pdfVIP

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MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems）是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和

控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。微型机电系统可以在诸如

硅、石英等不同的基本材料之上加工而成，以硅为基体材料的微机电系统称之为硅微机电

系统，而以硅为基体材料实现的惯性传感器件即为硅微惯性传感器。

硅微惯性传感器与传统惯性传感器相比具有以下优点：

☆体积小、重量轻。适合于对安装空间和重量要求苛刻的场合，例如弹载测量等。

☆成本低。

☆可靠。无转动部件，全固态装置，抗大过载冲击，工作长。

☆低功耗。

☆大量程。适用于高转速大g值的场合。

☆易于数字化、智能化。可数字输出，温度补偿，零位校正等。

硅微惯性传感器具有广泛的应用场合，包括、、航海、、汽车、生物医学、

环境、以及其他。中星测控具有自主的硅微惯性传感器主