GB-T 45826-2025-光刻用掺钛石英玻璃标准研究报告.docxVIP

光刻用掺钛石英玻璃国家标准（GB/T45826-2025）标准化发展报告

标题：光刻用掺钛石英玻璃国家标准（GB/T45826-2025）标准化发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReportonNationalStandardforTitaniaDopedSilicaGlassforLithography(GB/T45826-2025)

摘要

随着集成电路制造工艺向更小节点演进，光刻技术对光学材料提出了前所未有的高要求。掺钛石英玻璃因其优异的热稳定性、极低的热膨胀系数和良好的光学均匀性，成为深紫外（DUV）及极紫外（EUV）光刻系统中关键光学元件的核心材料。然而，长期以来我国在该领域缺乏统一的国家标准，制约了产业链的自主可控与高质量发展。本报告围绕GB/T45826-2025《光刻用掺钛石英玻璃》的制定背景、技术内容、编制过程及实施意义展开系统分析。该标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（TC447）归口，中国建筑材料联合会主管，于2025年正式发布并实施。标准首次系统规定了光刻用掺钛石英玻璃的术语定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等内容，填补了国内在该领域的标准空白。报告指出，该标准的实施将有效规范产品市场，提升国产掺钛石英玻璃的质量一致性与国际竞争力