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Si基ZnO异质结二极管分析

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TOC\o1-2\h\u8398Si基ZnO异质结二极管分析 1

72801.1Si基ZnO异质结二极管的基本结构和工作原理 1

134991.2Si基ZnO异质结二极管的特性 4

为了提高异质结的光电性能，对异质结半导体材料的选择也很重要。随着对Si研究越来越深入，研究人员便把ZnO薄膜制备在Si衬底上，将ZnO的不同工艺与Si材料的充分结合，得到了Si基ZnO异质结，这种异质结在半导体集成电路研究中被高度重视，因而基于Si基ZnO异质结的各种光电器件的制备越来越多。

1.1Si基ZnO异质结二极管的基本结构和工作原理

Si基Z