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基于太赫兹时域光谱的涂层厚度非接触测量方法研究

摘要

随着现代工业对材料表面性能要求的不断提升，热障涂层、防腐涂层等功能性涂层在航空航天、汽车制造及能源领域的应用日益广泛。涂层厚度的均匀性与结合质量直接决定了部件的使用寿命与安全性，因此，实现涂层厚度的快速、无损、高精度测量具有重要的工程应用价值。传统的测量方法如超声波检测、涡流检测等，往往需要耦合介质或接触被测表面，易对涂层造成损伤或受材料导电性限制，难以满足现代精密制造的非接触检测需求。

针对上述问题，本文设计并实现了一种基于太赫兹时域光谱技术的涂层厚度非接触测量系统。论文首先分析了太赫兹波在涂层介质中的传播特性，确立了反射式测量系统架构；其次，利用飞行时间法原理，建立了涂层厚度与太赫兹脉冲时间延迟的数学模型；再次，设计了信号处理算法提取特征脉冲时间差，并结合折射率计算实现厚度反演；最后，搭建实验系统对标准涂层样品进行测量验证。

本文主要工作内容包括：搭建了透射式太赫兹时域光谱系统用于材料折射率标定，构建了反射式检测系统用于厚度测量；设计了数字信号处理模块，实现了太赫兹时域波形的去噪、特征峰提取与飞行时间计算；开展了多组不同厚度样品的测量实验，实验结果表明，系统测量相对误差控制在3%以内，验证了方法的有效性与精度。本研究为工业涂层的无损检测提供了一种高效、可靠的解决方案。

关键词：太赫兹时域光谱；涂层测厚；飞行