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新型氧化物半导体薄膜材料赋能TFT技术的创新与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，显示技术和半导体技术作为现代电子信息产业的关键支撑，深刻地影响着人们的生活和社会的发展。从日常使用的智能手机、平板电脑、笔记本电脑，到大型的液晶电视、户外显示屏，再到广泛应用于工业控制、医疗设备、航空航天等领域的电子设备，显示技术无处不在，为人们提供了直观、便捷的信息交互界面。而半导体技术作为电子设备的核心，其性能的优劣直接决定了电子设备的功能和性能。

新型氧化物半导体薄膜材料以其独特的物理性质，如高电子迁移率、优异的环境稳定性、出色的光学透明度以及大面积均匀性等，在显示及半导体领域