HG_T 5756-2020 半导体超纯水制备用抛光混床树脂技术规范.docxVIP

HG/T5756-2020半导体超纯水制备用抛光混床树脂技术规范

前言

本标准按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本标准由中国石油和化学工业联合会提出。

本标准由全国塑料标准化技术委员会离子交换树脂分技术委员会（SAC/TC15/SC4）归口。

本标准起草单位：南通星光吸附材料有限公司、上海华凯新材料科技有限公司、西安热工研究院有限公司、信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、国内头部晶圆制造公用工程事业部。

本标准主要起草人：（略）

发布日期：2020年04月16日

实施日期：2020年10月01日

替代说明：本标准为国内首部针对半导体超纯水终端抛光工况专用混床离子交换树脂专项行业标准，无替代旧版标准，填补了国内电子级超高纯抛光树脂专用检测指标、析出物管控、痕量金属释放控制标准空白，适配SEMIF63、CECS118-2023电子超纯水工程验收体系。

核心编制背景：半导体超纯水终端抛光混床为UPW系统最后一道精处理核心单元，直接决定终端出水电阻率、痕量金属离子、TOC三大关键水质指标。常规工业级混床树脂存在金属析出、有机物溶出、破碎率高、二次污染严重等问题，无法满足8/12英寸晶圆、GaN/SiC第三代半导体车规级超纯水18.23MΩ·cm出水要求。本标准针对性规定电子级抛光混床树脂分类、理化指标