CN119763693A 一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质 （深圳十沣科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119763693A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202510272899.0

(22)申请日2025.03.10

(71)申请人深圳十沣科技有限公司

地址518071广东省深圳市南山区桃源街

道长源社区学苑大道1001号南山智园

D1栋2301

(72)发明人刘子剑解青周鑫宇王子健邹光喆周洪伟李静王栋

丁可琦毛峰陈松泽

(74)专利代理机构深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)44268

专利代理师孙果

(51)Int.Cl.

G16C10/00(2019.01)

G16C60/00(2019.01)

权利要求书3页说明书11页附图4页

(54)发明名称

一种离子能量角度分布确定方法、装置、终

端及存储介质

(57)摘要

CN119763693A本发明所提供的一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质，属于芯片制造技术领域，所述方法包括：获取并基于目标电容耦合等离子体腔室的几何参数、背景气体参数和表面材料参数，建立流体模型，求解流体模型得到电离速率时空分布和电磁场时空分布；获取离子碰撞截面数据；迭代的模拟生成离子、离子运动以及离子和背景气体分子的碰撞，直至满足结束条件，得到抵达基