CN119768897A 等离子体处理装置用的部件、等离子体处理装置用的部件的制造方法和等离子体处理装置 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768897A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202380061633.0

(22)申请日2023.08.23

(30)优先权数据

2022-1406782022.09.05JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.24

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0302662023.08.23

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/053395JA2024.03.14

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人濑