CN119768740A 感放射线性树脂组合物、图案形成方法及感放射线性酸产生剂 （Jsr株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768740A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202380061793.5

(22)申请日2023.09.25

(30)优先权数据

2022-1915102022.11.30JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.24

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0347172023.09.25

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/116577JA2024.06.06

(71)申请人JSR株式会社

地址日本东京港区东新桥一丁目9番2号

(72)发明人根本龙一宫尾健介稻见甫大冢昇

(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理

有限公司11205

专利代理师马雯雯刘芳

(51)Int.Cl.

G03F7/004(2006.01)

G03F7/038(2006.01)

G03F7/039(2006.01)

G03F7/20(2006.01)

C09K3/00(2006.01)

权利要求书3页说明书57页

(54)发明名称

感放射线性树脂组合物、图案形成方法及感

放射线性酸产生剂

(57)摘要

CN119768740A本发明提供一种感放射线性树脂组合物、图案形成方法及感