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超精密平面磨床典型应用案例.pdfVIP

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  • 2026-06-24 发布于河南
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超精密平面磨床典型应用案例.pdf

    T/XXXXXXX—XXXX

    A

    A

    附录A

    （资料性）

    超精密平面磨床典型应用案例

    A.1硅片减薄与背面研磨应用案例

    A.1.1应用场景与设备要求

    本案例展示超精密平面磨床在300 mm硅片减薄与背面研磨中的应用。按4.1规定的硅片加工质量目

    标，选用B级超精密平面磨床，性能满足表2中B级指标要求。

    A.1.2磨床配置与工艺策略

    磨床关键配置如下：

    a)主轴系统：空气静压主轴，径向回转误差≤0.1 μm；

    b

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