CN119663428A 碳硅自平衡晶体生长装置及晶体生长方法 (通威微电子有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-24 发布于重庆
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CN119663428A 碳硅自平衡晶体生长装置及晶体生长方法 (通威微电子有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119663428A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411859721.8

(22)申请日2024.12.17

(71)申请人通威微电子有限公司

地址610299四川省成都市双流区成都芯

谷产业园区集中区内

(72)发明人张御寜

(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

有限公司11463

专利代理师杨勋

(51)Int.Cl.

C30B23/00(2006.01)

C30B29/36(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

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