CN119786367A 晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质 （深圳市新凯来工业机器有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119786367A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411805713.5

(22)申请日2024.12.09

(71)申请人深圳市新凯来工业机器有限公司

地址518100广东省深圳市龙岗区平湖街

道山厦社区中环大道中科谷产业园6

栋1301

(72)发明人张彬彬徐新阳邓想全

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师贺蓓丽

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

权利要求书2页说明书16页附图10页

(54)发明名称

晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读

存储介质

(57)摘要

CN119786367A本申请实施例公开了一种晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质，上述方法包括：检测承载在运动台上的待扫描晶圆的晶圆离焦高度，以获得对待扫描晶圆进行追焦的基准高度；基于晶圆对焦校准数据中包括的各个特征点的位置信息生成第一运动轨迹，并控制运动台运动以控制待扫描晶圆基于第一运动轨迹运动；基于晶圆对焦校准数据获取待扫描晶圆运动至各个扫描点的追焦补偿高度；获取待扫描晶圆运动至各个扫描点时的离焦反馈参数，基于基准高度、追焦补偿高度和离焦反馈参