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片上高Q氧化硅光学微腔耦合系统：原理、特性与前沿应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，片上高Q氧化硅光学微腔耦合系统正逐渐崭露头角，成为科研人员关注的焦点。光学微腔作为一种能够在微米至毫米尺度下有效约束和操纵光场的微型结构，凭借其高品质因子（Q值）和小模式体积的特性，极大地增强了光与物质的相互作用，为众多前沿研究和实际应用开辟了新的道路。氧化硅作为一种广泛应用的微腔材料，具备较高的折射率和良好的光学质量，其化学稳定性和机械性能也较为出色，这使得基于氧化硅的光学微腔在片上集成光学系统中具有独特的优势。

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