CN120149145A 一种变压等离子体刻蚀系统、方法及刻蚀设备 （河源市艾佛光通科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120149145A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510367218.9

(22)申请日2025.03.26

(71)申请人河源市艾佛光通科技有限公司

地址517000广东省河源市高新技术开发

区高新五路、泥金路西边办公区二楼

(72)发明人李国强衣新燕潘宇欧阳佩东

(74)专利代理机构广东海融科创知识产权代理

事务所(普通合伙)44377

专利代理师许家裕

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

H01J37/244(2006.01)

H01J37/24(2006.01)

H01L21/67