CN119790351A 光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 (株式会社尼康).docxVIP

  • 4
  • 0
  • 约2.04万字
  • 约 36页
  • 2026-06-26 发布于山西
  • 举报

CN119790351A 光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 (株式会社尼康).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119790351A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202280099101.1

(22)申请日2022.08.18

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.12

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0312122022.08.18

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/038537JA2024.02.22

(71)申请人株式会社尼康地址日本东京都

(72)发明人吉田亮平铃木智也樱井友纪也犬童真成

(74)专利代理机构北京市

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档