原创力文档（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
事务所有限公司权利要求说明书说明书幅图代理人唐智芳发明名称一种纳米硅粉的制备方法摘要本发明公开了一种纳米硅粉的制备方法它是以粗的硅粉为原料采用惰性气体作为载气将原料在载气的携带下穿过高频等离子体发生器产生的等离子体送入反应室中在反应室中的高（10）申请公布号
CN106185947B
（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
事务所有限公司权利要求说明书说明书幅图代理人唐智芳发明名称一种纳米硅粉的制备方法摘要本发明公开了一种纳米硅粉的制备方法它是以粗的硅粉为原料采用惰性气体作为载气将原料在载气的携带下穿过高频等离子体发生器产生的等离子体送入反应室中在反应室中的高（10）申请公布号
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