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原子层沉积设备寿命与维护考核试卷及答案.pdf

原子层沉积设备寿命与维护考核试卷及答案.pdf

    原子层沉积的设备寿命与维护考核试卷含

    答案

    述设备的主要组成部分答案设备主要包括以下组成部分反应室是设备的核心部分用于容纳衬底和进行薄膜沉积气体输送系统包括气体发生器气体质量控制器气体流量计和气体输送管道等负责将反应气体输送到反应室控制系统包括计算机控制器和传感器等用于控制设备的运行

    一、选择题（每题5分，共25分）

    1.原子层沉积（ALD）技术中，以下哪种气体不是典型的反

    应气体？

    A.氢气

    B.氮气

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