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硅材料生产与加工工艺手册（执行版）

第1章硅材料生产与加工工艺手册（执行版）

1.1石英砂提纯工艺流程

石英砂提纯是硅材料制备的基石，其核心在于去除石英砂中的二氧化硅（SiO?）杂质，将其转化为高纯度的多晶硅。工艺流程始于原料的破碎与研磨，将粒径控制在100-200目的石英砂进行初步均化，随后进入磁选环节，利用磁场分离掉铁磁性杂质，确保后续提纯的纯净度。进入提纯炉后，石英砂在高温下发生还原反应，将硅元素从二氧化硅中还原为金属硅，这一过程需在1600-1700℃的还原气氛中进行，并严格控制氧含量，防止二次氧化。

还原后的硅熔体需通过真空感应炉进行精炼，利用氩气保护气氛隔绝空气