晶圆检测机器人系列编程：KLA-Tencor 2920_（2）.KLA-Tencor2920机器人的硬件配置与结构.docx

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KLA-Tencor2920机器人的硬件配置与结构

1.硬件配置

1.1机器人本体

KLA-Tencor2920晶圆检测机器人主要用于半导体制造过程中的晶圆检测，其本体配置如下：

机械臂：6自由度的机械臂，能够精确地移动到晶圆检测所需的位置。

负载能力：最大负载为20公斤，适用于多种晶圆尺寸和重量。

运动范围：X轴范围为1000毫米，Y轴范围为1000毫米，Z轴范围为500毫米。

速度：最大线速度为1000毫米/秒，最大角速度为600度/秒。

1.2传感器

KLA-Tencor2920机器人配备了多种传感器以确保检测的准确性和安全性：

视觉