CN119797899A 一种静电卡盘多层共烧陶瓷盘的制备方法 （君原电子科技(海宁)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119797899A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202411638564.8

(22)申请日2024.11.18

(71)申请人君原电子科技（海宁）有限公司

地址314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经

济开发区谷水路306号天通泛半导体

产业园2幢

(72)发明人石锗元李海南李君洪元杓陈振宁肖伟

(51)Int.Cl.

C04B35/111(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

C04B35/565(2006.01)

C04B35/581(2006.01)

C04B35/587(2006.01)

C04B35/622(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种静电卡盘多层共烧陶瓷盘的制备方法

(57)摘要

CN119797899A本发明公开了一种静电卡盘多层共烧陶瓷盘的制备方法，属于静电卡盘技术领域，包括：S1：制备具有一定粘度、分散均匀的有机悬浮陶瓷浆料；S2：将陶瓷浆料通过流延成型的方式制作出具有一定厚度的陶瓷生坯片；S3：在陶瓷生坯片各种孔；S4：制备金属电极浆料；S5：采用填孔的方式在生坯片的互联导通孔中填入金属导通浆料，采用丝网印刷的方式分别制