CN119802446A 氦气回收装置及氦气回收方法 （浙江东开半导体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119802446A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510295498.7

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人浙江东开半导体科技有限公司

地址311209浙江省杭州市萧山区新街街

道长鸣路500号智慧交通科技园11幢

(72)发明人谈领华

(74)专利代理机构杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙)33260

专利代理师朱林军

(51)Int.Cl.

F17C5/00(2006.01)

F17C13/02(2006.01)

F17C13/00(2006.01)

F17C13/12(2006.01)

F17D1/02(2006.01)

F17D3/01(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图2页

(54)发明名称

氦气回收装置及氦气回收方法

(57)摘要

CN119802446A本申请公开了一种氦气回收装置及氦气回收方法，装置包括回收箱、回收管及分别检测回收管、回收箱内部气压的第一压力检测器、第二压力检测器；回收管为PFA材质，管壁具有0.25nm~0.26nm的分子孔隙；回收管包括回收管部及与气体源连接的进口端、与尾气处理装置连接的出口端，回收管部置于回收箱内，回收管内的气压和回收箱内部的气