CN119800285A 金属滚轮制造方法 （光群雷射科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119800285A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202311311631.0

(22)申请日2023.10.11

(71)申请人光群雷射科技股份有限公司地址中国台湾新竹市

(72)发明人林刘恭

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师李清风

(51)Int.Cl.

C23C14/24(2006.01)

G03F7/16(2006.01)

G03F7/20(2006.01)

C23C14/50(2006.01)

C23C14/58(2006.01)

C23C14/54(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图5页

(54)发明名称

金属滚轮制造方法

(57)摘要

CN119800285A本发明公开一种金属滚轮制造方法，其包含：将一金属滚轮置于一真空蒸镀腔体之内，并使所述金属滚轮能于所述真空蒸镀腔体之内转动；加热固态光阻剂，以使所述固态光阻剂转变为一气态光阻剂、并朝向转动中的所述金属滚轮沉积而形成厚度不大于0.2微米的一光阻薄膜；以及对所述光阻薄膜进行一曝光显影作业，以使所述光阻薄膜形成一预设图案层。据此，所述金属滚轮制造方法能于所述金属滚轮形成厚度较

CN119800285A

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