CN119800323A 抗反射型氧化镁纳米结构的制造方法 （中北大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119800323A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510293140.0

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人中北大学

地址030051山西省太原市尖草坪区学院

路3号

(72)发明人李志强雷程梁庭李博

李丰超刘佳贾平岗

(74)专利代理机构南京引力知远知识产权代理事务所(普通合伙)32845

专利代理师纪烜晓

(51)Int.Cl.

C23C16/40(2006.01)

C23C16/56(2006.01)

C23C16/04(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

B82Y40/00(2011.01)

权利要求书3页说明书10页附图5页

(54)发明名称

抗反射型氧化镁纳米结构的制造方法

(57)摘要

CN119800323A本发明提供一种抗反射型氧化镁纳米结构的制造方法，包括以下步骤：将对应晶态的氧化镁衬底进行清洗操作；待完成对所述氧化镁衬底的清洗操作，在所述氧化镁衬底上进行基于氧化硅的沉积操作，得到氧化硅层；对所述氧化硅层进行图案化处理，得到位于所述氧化镁衬底之上的氧化硅纳米结构；在所述氧化镁衬底上进行基于对应非