CN119812088A 一种半导体产品的搬运控制方法、系统及存储介质 （芯蓥智铖(重庆)科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119812088A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510294250.9

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人芯蓥智铖（重庆）科技有限公司

地址400000重庆市大渡口区跳磴镇海康

路106号1号楼801

(72)发明人徐维哲周钢王登杰

(74)专利代理机构上海申晟知识产权代理有限

公司31444

专利代理师王从清

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

F24F8/108(2021.01)

F24F13/28(2006.01)

F24F11/89(2018.01)

F24F11/79(2018.01)

F24F11/64(2018.01)

权利要求书2页说明书14页附图2页

(54)发明名称

一种半导体产品的搬运控制方法、系统及存

储介质

(57)摘要

CN119812088A本申请涉及半导体制造的技术领域，公开一种半导体产品的搬运控制方法、系统及存储介质，方法基于搬运指令获取待搬运半导体尺寸参数，依此通过第一匹配策略得出吸附指令，使第一执行器用预设固定力吸附产品。结合搬运指令与尺寸参