CN120065289A 离子束的束流强度测量方法、束流测量系统、设备及介质 （青岛思锐智能科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120065289A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510357349.9

(22)申请日2025.03.25

(71)申请人青岛思锐智能科技股份有限公司

地址266000山东省青岛市自由贸易试验

区青岛片区牧马山路11号3#楼

(72)发明人樊树宝何山李晨冉马国宇

张丛田龙张爱军

(74)专利代理机构北京北汇律师事务所11711

专利代理师吕良

(51)Int.Cl.

G01T1/29(2006.01)

G01R19/00(2006.01)

G01R19/25(2006.01)