洁净车间环境监测.pptx

主讲人：王晓曦;洁净室环境控制要点;一、洁净室环境控制要点;二、洁净车间环境监测分类及监测结果标准;十万级洁净室参数标准;三、车间环境监测方法;;（二）、压差;;当洁净室压差不足时，应及时报告，立即调查原因，按照《空气净化系统使用标准操作规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-014）进行必要的调整，应检查洁净室密闭性或更换初、中效过滤器或适当加大新风阀开度，以提高总送风量和新风量，保证洁净区（室）压差合格。;（三）、尘埃粒子;监测要点;洁净度控制标准;2、仪器：尘埃粒子计数器。

3、测试规则

3.1测试条件

（1）温度和湿度

洁净室（区）的温度和湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃