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径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析.pdf

真空科学与技术学报第45卷第1期

36CHINESEJOURNALOFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY2025年1月

径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析

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谢元华佟英博谢天意王桂鹏窦仁超孟冬辉刘坤孙立臣闫荣鑫

(1.东北大学机械工程与自动化学院沈阳110819;2.北京卫星环境工程研究所北京1000

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